進(jìn)行高純氣體分析色譜時需要注意哪些事項?
更新時間:2024-06-06 點擊次數(shù):502
高純氣體是指純度極高的氣體,通常指除主要成分以外,其他雜質(zhì)含量非常低甚至達(dá)到可忽略的程度。由于高純氣體在半導(dǎo)體制造、光纖通信、醫(yī)療設(shè)備、激光技術(shù)等領(lǐng)域中起著至關(guān)重要的作用,因此對其純度的要求極高,通常要求雜質(zhì)濃度在ppm(百萬分之一)甚至ppb(十億分之一)級別以下。
高純氣體分析色譜(High Purity Gas Analysis Chromatography)是一種用于分析和測量高純氣體中痕量雜質(zhì)濃度的色譜技術(shù)。為了獲得準(zhǔn)確可靠的分析結(jié)果,進(jìn)行高純氣體分析色譜時需要注意以下幾點:
1、選擇合適的色譜柱和檢測器,確保它們對目標(biāo)雜質(zhì)具有足夠的靈敏度和選擇性。
2、定期對色譜系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù),確保系統(tǒng)性能穩(wěn)定可靠。
3、嚴(yán)格控制樣品處理過程,避免引入新的雜質(zhì)或干擾成分。
4、對分析結(jié)果進(jìn)行驗證和比對,確保結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
GC-9560-HG高純氣體分析色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,儀器配備高靈敏度的氦離子化(PDHID)檢測器,采用中心切割與反吹技術(shù),配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器,通過無死體積取樣或在線進(jìn)樣方式,一次性完成上述高純氣體中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測,檢測限達(dá)ppb級,重復(fù)性RSD≤1%。