由華愛色譜參與修制定的5項(xiàng)電子氣國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)正式頒布: GB/T 43771-2024《電子氣體 一氧化碳 》,GB/T 43772-2024《電子氣體 二氧化碳》和GB/T 43773-2024《電子氣體 羰基硫》于2024年3月15日頒布,2024年10月1日 起正式實(shí)施。GB/T 43976-2024 《電子氣體 四氟甲烷》和GB/T 43977-2024《電子氣體 八氟環(huán)丁烷》于 2024年4月25日頒布,2024年11月1日 起正式實(shí)施。
電子氣作為核心工藝材料,其質(zhì)量和純度直接影響芯片制造的效率和成品率。電子氣在蝕刻、沉積、清洗等半導(dǎo)體制造工藝中起著至關(guān)重要的作用。電子氣不僅是半導(dǎo)體制造的基礎(chǔ)保障,更是推動(dòng)科技進(jìn)步和行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵力量。其應(yīng)用范圍廣泛,包括晶圓制造、顯示器生產(chǎn)和太陽能電池等領(lǐng)域,支撐著眾多高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
華愛色譜作為全國(guó)氣體標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證平臺(tái),承擔(dān)了色譜分析方法的制定。
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