當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 氣體分析 > 電子氣 > GC-9560-PDD含氟電子氣分析用氦離子色譜儀
簡要描述:含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進樣量。
詳細(xì)介紹
含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目。
氟的技術(shù)指標(biāo):
項目 | 指標(biāo) | |
氟(F2)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | ≥ | 99 |
氧(O2)+氮(N2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-2 | ≤ | 0.45 |
四氟化碳(CF4)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | ≤ | 0.05 |
氟化氫(HF)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo):
項目 | 指標(biāo) | |
氟(F2)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | 20 | |
氮(N2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-2 | 80 | |
氧(O2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-2 | ≤ | 0.08 |
四氟化碳(CF4)(體積分?jǐn)?shù))/10-2 | ≤ | 0.03 |
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