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含氟電子氣分析用氦離子色譜儀

簡要描述:含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進樣量。

  • 產(chǎn)品型號:GC-9560-PDD
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2023-06-14
  • 訪  問  量: 2943

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含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目。


氟的技術(shù)指標(biāo):

項目指標(biāo)
氟(F2)(體積分?jǐn)?shù))/10-2                  99
氧(O2)+氮(N2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-20.45
四氟化碳(CF4)(體積分?jǐn)?shù))/10-20.05
氟化氫(HF)(體積分?jǐn)?shù))/10-20.5


氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo):

項目指標(biāo)
氟(F2)(體積分?jǐn)?shù))/10-2   20
氮(N2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-2 80
氧(O2)(體積分?jǐn)?shù))(N2)/10-20.08
四氟化碳(CF4)(體積分?jǐn)?shù))/10-20.03




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