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簡要描述:GC-9560-HG硅烷分析氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,Z小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司*的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),不同底氣的樣品的進(jìn)樣量*。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目、上海市重點(diǎn)新產(chǎn)品、上海市火炬計(jì)劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號(hào)。
詳細(xì)介紹
硅烷是重要的新材料產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于LCD平板顯示、半導(dǎo)體、太陽能等行業(yè),隨著中國半導(dǎo)體等行業(yè)的發(fā)展,國內(nèi)對(duì)硅烷的需求與日俱增,但是由于國內(nèi)硅烷生產(chǎn)的技術(shù)處于起步階段,如何對(duì)硅烷的純度進(jìn)行分析是各個(gè)生產(chǎn)廠商需要面臨的一個(gè)課題
*,高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過程,也是色譜分析的難點(diǎn)之一;硅烷由于其物理性質(zhì)的特殊性,其分析的難度可謂難上加難,不僅需要高靈敏的檢測器,還要解決硅烷遇氧燃燒的問題。GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀克服了硅烷分析過程中的眾多技術(shù)難點(diǎn),采用高靈敏度的氦離子化檢測器,配備的硅烷取樣系統(tǒng),很好的完成了硅烷中痕量的ppb級(jí)雜質(zhì)的分析。
適用的標(biāo)準(zhǔn):
GC-9560-HG硅烷分析氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司*的中心切割技術(shù),所配備的進(jìn)樣閥均為帶有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)口閥;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),不同色譜柱可單獨(dú)控溫,大限度地優(yōu)化了分離條件,并且方便對(duì)不同色譜柱分別進(jìn)行老化處理,方便儀器的維護(hù);儀器配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),克服了不同底氣因分子量不同而造成的進(jìn)樣量不*多導(dǎo)致的分析誤差。
一、GC-9560-HG硅烷分析氦離子化氣相色譜儀的性能優(yōu)勢:
氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)行業(yè),是工業(yè)生產(chǎn)的“血液”,隨著國民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,對(duì)高純氣體和電子工業(yè)用氣體的需求量也快速增長。痕量雜質(zhì)的檢測是生產(chǎn)高純氣體和電子工業(yè)用氣的關(guān)鍵環(huán)節(jié),而痕量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn),傳統(tǒng)的熱導(dǎo)等色譜檢測器均無法勝任高純的氣體分析。
脈沖放電氦離子化檢測器(PDHID)是一種靈敏度的通用型檢測器,對(duì)幾乎所有無機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),特別適合高純氣體的分析,是*能夠檢測至ng/g(ppb)級(jí)的檢測器。新制定的國家標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定,采用氦離子化檢測器替換原有的熱導(dǎo)等檢測器,華愛色譜承擔(dān)主要起草任務(wù)的國家標(biāo)準(zhǔn)《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》也正在制定之中,不久將正式公布實(shí)施。
PDHID對(duì)硅烷中氣體雜質(zhì)檢測限(ppb)
H2 | O2 Ar | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2 | C3 | SimHn |
10 | 25 | 50 | 50 | 20 | 20 | 20 | 20 | 50 |
二、GC-9560-HG的系統(tǒng)配置:
(1)GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀 (2)氦離子化檢測器(PDHID)
(3)中心切割系統(tǒng) (4)電子氣體取樣系統(tǒng)
(5)氧吸附與還原系統(tǒng) (6)氦氣純化器
(7)載氣減壓閥 (8)無死體積取樣閥
(9)載氣過濾器 (10)樣品過濾器
(11)色譜柱 (12)標(biāo)準(zhǔn)氣體
(13)高純氦(純度>99.999%) (14)GC-9560V4.0版反控色譜工作
分析效果圖:
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